真空泵是制造业重要的通用设备，利用各种方法在封闭空间内产生、提高和维持真空的装置，广泛应用于半导体、工业真空等领域。分子泵适用于高真空和超高真空度范围，按照轴承特性可以分为油润滑、脂润滑、磁悬浮三类。其中磁悬浮分子泵采用非接触式磁悬浮轴承，具有转速高、寿命长等特点。

　　分子泵于1912年诞生，德国人W.Gaede发明出世界首台分子泵，但是初期应用较为受限。20世纪50-70年代，分子泵研发发展较快，中国也于1964年开始研发分子泵。磁悬浮分子泵于20世纪80年代开始研发，并在21世纪开始被广泛使用。磁悬浮分子泵相对于油润滑分子泵和脂润滑分子泵更加节能、高效、灵活，磁悬浮无摩擦，且能更长的连续工作，适用于半导体、光伏、平板显示新能源等领域。

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　　新思界产业研究中心整理发布的《2024-2028年中国磁悬浮分子泵市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，近年来，中国分子泵市场规模持续增长，主要是由于下游市场需求持续增长带动的。一方面，随着全球半导体产业链向中国转移，中国半导体产业规模持续增长，半导体领域对分子泵的需求增长；此外5G基站基建配套设施逐步完善，新能源电池、光伏设备等领域的需求也在持续增长。预计今后几年中国分子泵市场规模也将持续增长。其中磁悬浮分子泵优势明显，是现代分子泵发展的主流趋势，近年来行业发展快速，市场规模增速较快。

　　全球磁悬浮分子泵产品生产企业主要有德国普发Pfeiffer、英国爱德华Edwards、德国莱宝Leybold，国内企业主要有中科科仪、天津飞旋。国外分子泵企业发展较早，且相关企业在中国市场布局也较早，国内企业及科研院所对相关企业认知度较高，在市场竞争中占据优势地位，占有较大的市场份额。德国普发Pfeiffer成立于1890年，1958年发明分子泵，产品涵盖混合轴承分子泵及磁悬浮分子泵（如型号ATH1603）。中科科仪成立于1958年，业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备，磁悬浮分子泵产品包括CXF-200/1401、CXF-200/1402、CXF-250/2301、CXF-250/2302、CXF-320/3001、CXF-320/3002，可应用于科学研究、加速器、光伏、镀膜、新能源、新材料、半导体等领域。天津飞旋是专业从事磁悬浮高速旋转机械的设计、研发、生产及产业化应用的高新技术企业，其磁悬浮复合分子泵抽速范围1000-2300L/S,最高转速42000rpm,极限线Pa，应用于科研、节能玻璃、太阳能光伏、液晶面板制造等行业。