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　　1.本发明属于冶金行业炼钢真空精炼技术领域，特别涉及一种机械真空泵系统及其控制方法。

　　2.随着用户对钢材品种的需求不断扩大，对钢材质量的要求日益提高，rh系真空处理技术已成为一种扩大产品范围，提高产品质量行之有效的手段之一。真空泵是rh真空精炼炉的核心组成部分，全干式机械真空泵的rh真空精炼装置由于出色的低运行成本、节能环保效果，采用全干式机械真空泵的rh真空精炼装置的数量正在迅速增长。

　　3.目前，在现有的冶金行业炼钢真空精炼技术中，通常是采用蒸汽喷射泵，或者由于电弧炉作为现代化短流程炼钢厂不可或缺的废钢或还原铁融化手段，与之1：1配套的rh真空精炼炉已经渐渐不能满足电弧炉的较短出钢周期的要求，如果采取增加与电弧炉配套的rh真空精炼炉的数量，则会导致产生较高的建设成本。这样由于采用全干式机械真空泵的rh真空精炼装置数量处于迅速增长，现有的采用每座rh真空精炼炉配套一个真空泵系统，使得所配套的真空泵系统数量较多，结构较复杂，会导致建设成本较高和生产成本较高。

　　4.综上所述，在现有的冶金行业炼钢真空精炼技术中，存在着结构较复杂，建设成本较高和生产成本较高的技术问题。

　　5.本发明所要解决的技术问题是结构较复杂，建设成本较高和生产成本较高的技术问题。

　　6.为解决上述技术问题，本发明提供了一种机械真空泵系统，所述系统包括：第一座rh真空精炼炉和第二座rh真空精炼炉；真空泵机构，所述真空泵机构包括第一级泵、第二级泵、第一套第三级泵、第一套第四级泵、第二套第三级泵和第二套第四级泵，所述第一级泵分别与第一座rh真空精炼炉和第二座rh真空精炼炉连接；所述第二级泵和第一级泵连接；所述第一套第三级泵和第二级泵连接；所述第一套第四级泵分别与第一套第三级泵、第二级泵和第一座rh真空精炼炉连接；所述第二套第三级泵和第二级泵连接；所述第二套第四级泵分别与第二套第三级泵、第二级泵和第二座rh真空精炼炉连接；阀门机构，所述阀门机构包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀、第五控制阀、第六控制阀、第七控制阀、第八控制阀、第九控制阀和第十控制阀，所述第一控制阀安装于第一座rh真空精炼炉和第一级泵之间，所述第二控制阀安装于所述第一控制阀和所述第一级泵之间；所述第三控制阀安装于第二级泵和第一套第三级泵之间；所述第四控制阀安装于第一套第四级泵和第二级泵之间；所述第五控制阀安装于第四控制阀和第一控制阀之间；所述第六控制阀安装于第二座rh真空精炼炉和第一级泵之间，所述第七控制阀安装于所述第六控制阀和所述第一级泵之间；所述第八控制阀安装于第二级泵和第二套第三级泵之间；所述第九控制阀安装于第八控制阀和第二套第四级泵之间；所述第十控制阀安装于第九控制阀和第六控

　　7.进一步地，所述第一级泵包括多台罗茨真空泵；所述第二级泵包括多台罗茨真空泵；所述第一套第三级泵包括多台罗茨真空泵；所述第一套第四级泵包括多台螺杆线.进一步地，所述第二套第三级泵包括多台罗茨真空泵；所述第二套第四级泵包括多台螺杆线.进一步地，所述第一控制阀为切换阀，所述第二控制阀为切换阀，第三控制阀为切换阀，第四控制阀为切换阀，第五控制阀为切换阀，第六控制阀为切换阀，第七控制阀为切换阀，第八控制阀为切换阀，第九控制阀为切换阀，第十控制阀为切换阀。

　　10.进一步地，所述第一座rh真空精炼炉可供处理第一目标钢水，所述第一目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种；所述第二座rh真空精炼炉可供处理第二目标钢水，所述第二目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种。

　　11.依据本发明的又一个方面，本发明还提供一种机械真空泵系统的控制方法，所述方法包括：步骤s1，在第一座rh真空精炼炉处于深真空状态末期，以及第二座rh真空精炼炉处于预抽状态时，开启第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第九控制阀和第十控制阀，关闭第四控制阀、第五控制阀、第六控制阀、第七控制阀和第八控制阀，且开启第一级泵、第二级泵、第一套第三级泵、第一套第四级泵和第二套第四级泵，关闭第二套第三级泵；步骤s2，在第一座rh真空精炼炉处于深真空状态末期，以及第二座rh真空精炼炉处于粗真空状态时，开启第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第六控制阀和第十控制阀，关闭第四控制阀、第五控制阀、第七控制阀、第八控制阀和第九控制阀，且开启第一级泵、第二级泵、第一套第三级泵、第一套第四级泵、第二套第三级泵和第二套第四级泵；步骤s3，在第一座rh真空精炼炉处于预抽状态，以及第二座rh真空精炼炉处于深真空状态末期时，开启第四控制阀、第五控制阀、第六控制阀、第七控制阀和第八控制阀，关闭第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第九控制阀和第十控制阀，且开启第一级泵、第二级泵、第一套第四级泵、第二套第三级泵和第二套第四级泵，关闭第一套第三级泵；循环执行所述步骤s1、所述步骤s2和所述步骤s3。

　　12.进一步地，所述第一级泵包括多台罗茨真空泵；所述第二级泵包括多台罗茨真空泵；所述第一套第三级泵包括多台罗茨真空泵；所述第一套第四级泵包括多台螺杆线.进一步地，所述第二套第三级泵包括多台罗茨真空泵；所述第二套第四级泵包括多台螺杆线.进一步地，所述第一控制阀为切换阀，所述第二控制阀为切换阀，第三控制阀为切换阀，第四控制阀为切换阀，第五控制阀为切换阀，第六控制阀为切换阀，第七控制阀为切换阀，第八控制阀为切换阀，第九控制阀为切换阀，第十控制阀为切换阀。

　　15.进一步地，所述第一座rh真空精炼炉可供处理第一目标钢水，所述第一目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种；所述第二座rh真空精炼炉可供处理第二目标钢水，所述第二目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种。

　　17.本发明提供一种机械真空泵系统，通过真空泵机构中第一级泵分别与第一座rh真空精炼炉和第二座rh真空精炼炉连接，第二级泵和第一级泵连接，第一套第三级泵和第二级泵连接，第一套第四级泵分别与第一套第三级泵、第二级泵和第一座rh真空精炼炉连接，

　　第二套第三级泵和第二级泵连接，第二套第四级泵分别与第二套第三级泵、第二级泵和第二座rh真空精炼炉连接，阀门机构中第一控制阀安装于第一座rh真空精炼炉和第一级泵之间，第二控制阀安装于第一控制阀和第一级泵之间，第三控制阀安装于第二级泵和第一套第三级泵之间，第四控制阀安装于第一套第四级泵和第二级泵之间，第五控制阀安装于第四控制阀和第一控制阀之间，第六控制阀安装于第二座rh真空精炼炉和第一级泵之间，第七控制阀安装于第六控制阀和第一级泵之间，第八控制阀安装于第二级泵和第二套第三级泵之间，第九控制阀安装于第八控制阀和第二套第四级泵之间，第十控制阀安装于第九控制阀和第六控制阀之间。这样第一级泵和第二级泵与第一座rh真空精炼炉连接，并且第一级泵和第二级泵也与第二座rh真空精炼炉连接，实现第一座rh真空精炼炉和第二座rh真空精炼炉共享真空泵机构中第一级泵，以及第一座rh真空精炼炉和第二座rh真空精炼炉共享真空泵机构中第二级泵，能够简化结构，降低建设成本和生产成本，从而达到了简化结构，降低建设成本和生产成本的技术效果。

　　18.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

　　23.本发明公开了一种机械真空泵系统，通过线分别与第一座rh线和第二座rh线分别与第一套第三级泵33、第二级泵32和第一座rh线分别与第二套第三级泵35、第二级泵32和第二座rh线连接，阀门机构中第一控制阀41安装于第一座rh线和第一级泵31之间，第三控制阀43安装于第二级泵32和第一套第三级泵33之间，第四控制阀44安装于第一套第四级泵34和第二级泵32之间，第五控制阀45安装于第四控制阀44和第一控制阀41之间，第六控制阀46安装于第二座rh线和第一级泵31之间，第八控制阀48安装于第二级泵32和第二套第三级泵35之间，第九控制阀49安装于第八控制阀48和第二套第四级泵36之间，第十控制阀50安装于第九控制阀49和第六控制阀46之间。这样第一级泵31和第二级泵32与第一座rh线也与第二座rh线连接，实现第一座rh线和第二座rh线共享线，以及第一座rh线和第二座rh线共享线，能够简化结构，降低建设成本

　　24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围；其中本实施中所涉及的“和/或”关键词，表示和、或两种情况，换句话说，本发明实施例所提及的a和/或b，表示了a和b、a或b两种情况，描述了a与b所存在的三种状态，如a和/或b，表示：只包括a不包括b；只包括b不包括a；包括a与b。

　　25.应当理解，虽然术语“第一”，“第二”等在这里可以用来描述各种元件，部件，区域，层和/或部分，但是这些元件，部件，区域，层和/或部分不应当受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件，部件，区域，层或区段与另一个元件，部件，区域，层或区段。因此，在不背离示例性实施例的教导的情况下，下面讨论的第一元件，部件，区域，层或部分可以被称作第二元件，部件，区域，层或部分。这里可以使用空间上相关的术语，例如“下面”，“上面”等，以便于描述一个元件或特征与另一个元件或特征的关系。可以理解，除了图中所示的方位之外，空间上相对的术语还包括使用或操作中的装置的不同方位。例如，如果图中的设备被翻转，那么被描述为“下面”的元件或特征将被定向为“上面”其它元件或特征。因此，示例性术语“下面”可以包括上面和下面的取向。该设备可以被定向(旋转90度或在其它定向上)，并且这里所使用的空间相关描述符被相应地解释。

　　26.同时，本发明实施例中，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本发明实施例中所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明目的，并不是旨在限制本发明。

　　28.请参见图1、图2和图3，图1是本发明实施例提供的一种机械真空泵系统的示意图一，图2是本发明实施例提供的一种机械真空泵系统的示意图二，图3是本发明实施例提供的一种机械真空泵系统的示意图三。本发明实施例提供的一种机械真空泵系统，包括第一座rh线、第二座rh线、真空泵机构和阀门机构，现分别对第一座rh线、第二座rh线、真空泵机构和阀门机构进行详细说明：

　　29.对于第一座rh线.第一座rh线可供处理第一目标钢水，所述第一目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种；所述第二座rh线可供处理第二目标钢水，所述第二目标钢水包括轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种。

　　31.具体而言，第一座rh线是指一座rh真空精炼炉，rh真空精炼炉即是rh真空循环脱气精炼炉，第一座rh线可以用于对轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种的处理。第二座rh线是指另外一座rh真空精炼炉，第二座rh线可以用于对轻处理钢种、或者本处理钢种、或者深脱碳钢种的处理。

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　　32.对于线、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36，第一级泵31分别与第一座rh线和第二座rh线分别与第一套第三级泵33、第二级泵32和第一座rh线分别与第二套第三级泵35、第二级泵32和第二座rh线连接。其中，所述第一级泵31包括多台罗茨线包括多台罗茨真空泵；所述第一套第三级泵33包括多台罗茨真空泵；所述第一套第四级泵34包括多台螺杆真空泵。所述第二套第三级泵35包括多台罗茨真空泵；所述第二套第四级泵36包括多台螺杆线.具体而言，罗茨真空泵可以是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。螺杆真空泵是指利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。第一级泵31是指真空室侧，第一套第四级泵34和第二套第四级泵36可以是指排大气侧，第一级泵31通过管道分别与第一座rh线和第二座rh线包括多台罗茨线包括a台罗茨真空泵，所述a的取值可以是正整数。第二级泵32通过管道和第一级泵31连接，第二级泵32包括多台罗茨线包括b台罗茨真空泵，所述b的取值可以是正整数。第一套第三级泵33通过管道和第二级泵32连接，第一套第三级泵33包括多台罗茨真空泵可以是指第一套第三级泵33包括c1台罗茨线的取值可以是正整数。第一套第四级泵34通过管道分别与第一套第三级泵33、第二级泵32和第一座rh线包括多台螺杆真空泵可以是指第一套第四级泵34包括d1台螺杆线的取值可以是正整数。第二套第三级泵35通过管道和第二级泵32连接，第二套第三级泵35包括多台罗茨真空泵可以是指第二套第三级泵35包括c2台罗茨线的取值可以是正整数。第二套第四级泵36通过管道分别与第二套第三级泵35、第二级泵32和第二座rh线包括多台螺杆真空泵可以是指第二套第四级泵36包括d2台螺杆线的取值可以是正整数。

　　36.阀门机构包括第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47、第八控制阀48、第九控制阀49和第十控制阀50，所述第一控制阀41安装于第一座rh线和所述第一级泵31之间；所述第三控制阀43安装于第二级泵32和第一套第三级泵33之间；所述第四控制阀44安装于第一套第四级泵34和第二级泵32之间；所述第五控制阀45安装于第四控制阀44和第一控制阀41之间；所述第六控制阀46安装于第二座rh线和所述第一级泵31之间；所述第八控制阀48安装于第二级泵32和第二套第三级泵35之间；所述第九控制阀49安装于第八控制阀48和第二套第四级泵36之间；所述第十控制阀50安装于第九控制阀49和第六控制阀46之间。其中，所述第一控制阀41为切换阀，所述第二控制阀42为切换阀，第三控制阀43为切换阀，第四控制阀44为切换阀，第五控制阀45为切换阀，第六控制阀46为切换阀，第七控制阀47为切换阀，第八控制阀48为切换阀，第九控制阀49为切换阀，第十控制阀50为切换阀。

　　37.具体而言，切换阀可以是指气动开关阀，利用连杆结构原理实现阀板的启闭。第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47、第八控制阀48、第九控制阀49和第十控制阀50都可以是采用切换阀。第一控制阀41安装于第一座rh线之间的管道中，所述第二控制阀42安装于所述第一控制阀41和所述第一级泵31之间的管道中。第三控制阀43安装于第二级泵32和第一套第三级泵33之间的管道中。第四控制阀44安装于第一套第四级泵34和第二级泵32之间的管道中。第五控制阀45安装于第四控制阀44和第一控制阀41之间的管道中。第六控制阀46安装于第二座rh线之间的管道中，第七控制阀47安装于第六控制阀46和第一级泵31之间的管道中。第八控制阀48安装于第二级泵32和第二套第三级泵35之间的管道中。第九控制阀49安装于第八控制阀48和第二套第四级泵36之间的管道中。第十控制阀50安装于第九控制阀49和第六控制阀46之间的管道中。

　　38.需要注意的是，在第一座rh线处于深真空状态末期，并且第二座rh线处于预抽状态时，第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50都是处于开启状态(即管道处于打开)，第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48都是处于关闭状态(即管道处于关闭)，同时，第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34和第二套第四级泵36都是处于开启状态，第二套第三级泵35处于关闭状态。在第一座rh线处于深真空状态末期，并且第二座rh线和第十控制阀50都是处于开启状态，第四控制阀44、第五控制阀45、第七控制阀47、第八控制阀48和第九控制阀49都是处于关闭状态，同时，第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36都是处于开启状态。在第一座rh线处于预抽状态，以及第二座rh线处于深真空状态末期时，第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48都是处于开启状态，第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50都是处于关闭状态，同时，第一级泵31、第二级泵32、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36都是处于开启状态，第一套第三级泵33是处于关闭状态。本发明实施例提供的一种机械真空泵系统可以共享于两座rh真空精炼炉，这样第一级泵31和第二级泵32与第一座rh线也与第二座rh线连接，实现第一座rh线和第二座rh线共享线，以及第一座rh线和第二座rh线共享线，能够简化结构，降低建设成本和生产成本。

　　39.另外，在实际操作中，对于轻处理钢种，工作压力为6kpa至10kpa，本发明实施例提供的一种机械真空泵系统在工作时，只需开启第一套第三级泵33、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36。由于线min的冗余时间，再加上本身线级泵，所以上述设计完全可以满足任意冗余时间的要求。对于深脱碳钢种，工作压力为67pa，工作时需将第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36都开启。由于线min，本身无冗余时间，但加上第一套第三级泵33和第一套第四级泵34，以及第二套第三级泵35和第二套第四级泵36都可以独立工作，压力逐步降低

　　至需投入第二级泵32和第一级泵31的时间还需8min(进真空、吹氧、粗脱碳等)，所以本发明实施例提供的一种机械线min冗余时间的要求。对于本处理钢种(即与深脱碳钢种相近的钢种)，工作压力为67pa，工作时需将第一套第四级泵34和第二套第四级泵36都开启。由于线min的冗余时间，再加上第一套第三级泵33和第一套第四级泵34，以及第二套第三级泵35和第二套第四级泵36都可以独立工作，压力逐步降低至需投入第二级泵32和第一级泵31的时间还需4min，所以本发明实施例提供的一种机械线min冗余时间的要求。

　　40.本发明提供一种机械真空泵系统，通过线分别与第一座rh线和第二座rh线分别与第一套第三级泵33、第二级泵32和第一座rh线分别与第二套第三级泵35、第二级泵32和第二座rh线连接，阀门机构中第一控制阀41安装于第一座rh线和第一级泵31之间，第三控制阀43安装于第二级泵32和第一套第三级泵33之间，第四控制阀44安装于第一套第四级泵34和第二级泵32之间，第五控制阀45安装于第四控制阀44和第一控制阀41之间，第六控制阀46安装于第二座rh线和第一级泵31之间，第八控制阀48安装于第二级泵32和第二套第三级泵35之间，第九控制阀49安装于第八控制阀48和第二套第四级泵36之间，第十控制阀50安装于第九控制阀49和第六控制阀46之间。这样第一级泵31和第二级泵32与第一座rh线也与第二座rh线连接，实现第一座rh线和第二座rh线共享线，以及第一座rh线和第二座rh线共享线，能够简化结构，降低建设成本和生产成本，从而达到了简化结构，降低建设成本和生产成本的技术效果。

　　41.为了对本发明提供的一种机械真空泵系统的控制方法做详细说明，上述实施例一对一种机械真空泵系统做了详细说明，基于同一发明构思，本技术还提供了一种机械真空泵系统的控制方法，详见实施例二。

　　43.请参见图4，图4是本发明实施例提供的一种机械真空泵系统的控制方法的流程图，本发明实施例二提供一种机械真空泵系统的控制方法，包括：步骤s1，在第一座rh线处于深真空状态末期，以及第二座rh线处于预抽状态时，开启第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50，关闭第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34和第二套第四级泵36，关闭第二套第三级泵35；

　　44.步骤s2，在第一座rh线处于深真空状态末期，以及第二座rh线处于粗真空状态时，开启第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第六控制阀46和第十控制阀50，关闭第四控制阀44、第五控制阀45、第七控制阀47、第八控制阀48和第九控制阀49，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36；

　　深真空状态末期时，开启第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48，关闭第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36，关闭第一套第三级泵33；循环执行所述步骤s1、所述步骤s2和所述步骤s3。其中，所述第一级泵31包括多台罗茨线包括多台罗茨真空泵；所述第一套第三级泵33包括多台罗茨真空泵；所述第一套第四级泵34包括多台螺杆真空泵。所述第二套第三级泵35包括多台罗茨真空泵；所述第二套第四级泵36包括多台螺杆线为切换阀，所述第二控制阀42为切换阀，第三控制阀43为切换阀，第四控制阀44为切换阀，第五控制阀45为切换阀，第六控制阀46为切换阀，第七控制阀47为切换阀，第八控制阀48为切换阀，第九控制阀49为切换阀，第十控制阀50为切换阀。所述第一座rh线可供处理第一目标钢水，所述第一目标钢水包括轻处理钢种、本处理钢种或者深脱碳钢种；所述第二座rh线可供处理第二目标钢水，所述第二目标钢水包括轻处理钢种、本处理钢种或者深脱碳钢种。

　　46.本发明提供一种机械真空泵系统的控制方法，通过步骤s1，在第一座rh线处于深真空状态末期，以及第二座rh线处于预抽状态时，开启第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50，关闭第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34和第二套第四级泵36，关闭第二套第三级泵35；步骤s2，在第一座rh线处于深真空状态末期，以及第二座rh线处于粗真空状态时，开启第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第六控制阀46和第十控制阀50，关闭第四控制阀44、第五控制阀45、第七控制阀47、第八控制阀48和第九控制阀49，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第三级泵33、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36；步骤s3，在第一座rh线处于预抽状态，以及第二座rh线处于深真空状态末期时，开启第四控制阀44、第五控制阀45、第六控制阀46、第七控制阀47和第八控制阀48，关闭第一控制阀41、第二控制阀42、第三控制阀43、第九控制阀49和第十控制阀50，且开启第一级泵31、第二级泵32、第一套第四级泵34、第二套第三级泵35和第二套第四级泵36，关闭第一套第三级泵33；循环执行所述步骤s1、所述步骤s2和所述步骤s3。这样第一级泵31和第二级泵32与第一座rh线也与第二座rh线连接，实现第一座rh线和第二座rh线共享线，以及第一座rh线和第二座rh线共享线，能够简化结构，降低建设成本和生产成本，从而达到了简化结构，降低建设成本和生产成本的技术效果。

　　47.最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照实例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

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