罗茨真空泵和水环真空泵是两种不同类型的真空泵,它们之间的区别主要有以下几个方面:
1. 工作原理不同:罗茨真空泵是通过两个相互转动的罗茨齿轮互相啮合并旋转,将气体向出口端压缩抽出,从而实现真空抽取的,而水环真空泵则是通过水环的自旋和液环泵的水力效应将气体压缩和排出,达到线. 真空度不同:罗茨真空泵的真空度比水环线 Pa的真空度,而水环线. 应用场合不同:罗茨真空泵广泛应用于半导体、光电、电子、冶金、化工等行业,尤其适用于处理干燥、氧化、沉积、溅射、等离子等过程中产生的气体;水环真空泵则适用于需要抽取含有大量水蒸汽、含尘气体和可溶性气体的应用领域,如造纸、食品、医药等。
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4. 易维护性不同:罗茨真空泵没有液体接触和摩擦件,所以相对于水环真空泵,罗茨真空泵更容易维护和保养。
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