在较低入口压力时具有较高的抽气速率,但它不能单独使用,必须有一台前级真空泵串联。待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时,罗茨真空泵才能开始工作。并且在一般情况下,罗茨真空泵不允许高压差时工作,否则将会过载和过热而损坏,因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵,安装必要的保护设备。
罗茨线”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一家的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内,再经排气口排出。由于吸气后的VO空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘,VO空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间VO中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。
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