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罗茨真空泵-带磁耦合器的标准泵
时间:2024-08-11 21:55:48 点击次数:

  M系列可用于对密封要求严格的z *且要求z *长的维修间隔的过程中。该系列中的大多数与标准系列相同,但是它的特点是附加的紧密密封的电磁联轴器代替了径向轴密封圈。这意味着它在运行期间基本无磨损。泵的总泄漏率小于1middot,10-6Pamiddot,m3middot,s-1。这消除了漏油的可能性,并且工艺气体与环境之间没有交换。 M系列标准泵适用于表4.19中所示的所有应用。此外,龙8long8中国这些泵还可用于泵送有毒气体和超清洁气体的工业/化学应用:例如,半导体行业的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于生产平板屏幕。 M系统的尺寸从250m3middot(h-1)到6,000m3middot(h-1)不等。表4.19:OktaLine性能数据


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