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罗茨真空泵NB系列说明书pdf
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  龙8头号玩家NUJ-SMSNB-2013.07 使 用 说 明 书 罗 茨 线B NB2400B 宁波爱发科真空技术有限公司 i ◆ 前言 Ⅰ真空泵使用须知 非常感谢您购买本公司产品。 在您拿到本产品时,请确认其是否与您订购的产品一致,以及其在运输过程中是否损坏。 为了您能安全有效地使用本产品,本说明书详细记载了使用和保养方法。请在使用本产品 前,仔细阅读本说明书,以便正确使用真空泵。 使用本产品时,请按本国、本地的安全相关规定或法令(如消防法、电线接线规定等)进 行安装和使用。另外,应参加本国、本地的政府或机构开设的安全基础教育培训。未参加安全 教育培训的人员,绝对不可使用本产品。另外,操作人员必须接受操作培训,且必须具备电气、 机械、装卸、真空等相关专业知识、技能和资格。 本产品的使用说明书是按现行的规定标准编制的。本公司无法保证本产品能满足将来新的 规定标准。 与本产品配套使用的设备为非同一规定标准的产品,或该产品自身做了改动,那么其使用 性能及安全性将很难被确保。宁波爱发科真空技术有限公司对该种情况下的产品的性能及安全 性不作任何保证。客户自行改造本产品的,产品将不再属于质保范围,本公司也不再承担任何 责任。 安装、拆卸本产品前,请先断开(拔除)与本产品相连的所有电源(插头)。 本公司无法保证本产品使用的所有零件能永久保持产品交付时的性能,且永久可用。即使 在理想的环境下使用,一定时间后产品性能仍会下降,故障也会陆续发生。希望用户能对自身 的使用状况进行监督确认,做好预防保全工作,以避免故障的发生。 预防保全措施充分的话,可有效降低本产品因零件磨损而导致的故障的发生率。另外,也 可降低因本产品故障而引起的工作效率低下、火灾或对其他工程造成影响等负面事件的发生 率。 从预防保全观点出发考虑,本公司希望用户能订立保养检修计划,定期更换零件或进行大 修保养。 对于使用上有任何不明之处,请与我们公司(/)或爱发科商贸(上 海)有限公司()联系。 未经本公司的书面许可,本说明书的任何部分,禁止复制或以 注意 任何方式给第三者。 i Ⅱ 安全标志 为了使您能够充分理解使用说明书以及警告显示中的内容,我们列出了各种安全标志。安 全标志中使用的用语分别表示如下。 表示如果使用错误,很可能会造成使用者死亡或者重伤, 危险 危险性极大。 大 警告 表示如果使用错误,会造成使用者死亡或者重伤的可能性, 危险性较大。 注意 表示如果使用错误,可能会造成使用者中度受伤,或造成机 械严重损坏、导致无法正常动作。 【重要】项目记载了在操作和维护本产品作业时,必须预先 重 要 了解的内容和信息。 有触电危险,作业者需经过有关电气安全培训。 泵刚停止后,温度还很高,确认泵的温度下降后再进行工作。 ii Ⅲ 安全方面的注意事项 对各项危险回避的方法和不可以进行的危险操作进行了说明。 为使您能更长久地使用本产品,在您安装、操作、检查或保养前,请 危险 务必仔细阅读、理解本说明书,以便充分了解安全方面的注意事项、本 产品的规格及操作方法。 用真空泵抽惰性气体以外的有毒或可燃性、助燃性气体时,气体很可 危险 能从排气口以外的其他部位泄漏,因此,不能使用。 用真空泵抽惰性气体以外的可燃性、助燃性气体时,可能会导致真空 危险 泵内部着火,爆炸。因此,不能使用。 在使用真空泵抽有毒性气体时,除泵以外,真空泵油(以下简称泵油) 危险 也会有毒。因此,在维修时请特别留意。 如果不能得到所用危险物品的详细资料,或排出的物质很难进行无害 警告 化处理时,我公司将拒绝维修保养或其他处理。 本产品及使用说明书中记载的内容,因改良而导致的规格以及价格等 的变更,将不预先告知,请谅解。 警告 变更时,我们将对使用说明书封面右上角的文件编号进行更新,并以 修订版形式进行发行。 警告 请务必将本使用说明书交给产品的最终用户。 将本产品出口到国外时,务必请告知我们,并按出口的相关法规办理 相应的手续。 警告 请咨询我们公司(/)、爱发科商贸(上海) 有限公司()。 注意 未经本公司允许,本使用说明书的任何部分不得复印给第三者。 iii III-1 安放²保管 ①.本产品为木箱包装,拆箱请由专业人员来进行。客户在拆箱时, 固定用的木条和钉子可能会弄伤手,请配带皮手套,使用合适的起钉器 等拆卸工具。 ②.取出产品,可利用泵上部的吊环,用吊机将泵抬起,进行搬运。 警告 在使用吊环前,请先确认吊环无异常。 ③.用吊机进行装卸作业时,作业者应具有操作资格。 ④.强行操作或器械准备不充分的话,有可能造成泵掉下、翻倒。请 绝对不要站到泵的下面。 ⑤.木条碎片及箱钉有可能会伤着身体,请告知作业者,务必配带皮 手套、使用合适的劳动工具。 III-2 地震对策 若固定不充分,可能会翻倒、移动,损坏周边的设备。对于真空接管、 警告 电线,按规定防震标准,设计成防震结构,以保证接管不破损、不脱离。 III-3 吸气口接管(安装) 警告 请确认完已切断所有的危险源后,再进行作业。 III-4 冷却水管(安装) 警告 请确认完已切断所有的危险源后再进行作业。 III-5 电源接线(安装) 请确认完已断开所有的危险源后,再进行作业。 请由具有操作资格的人员进行作业,否则误接的话,会引起火灾。 请按国家、地区的有关安全的法律、法规正确接线(例:消防法、电 警告 气设备技术标准、内部接线规定)。 请确认地线已接地。 另外,建议设置专用的漏电保护器,以避免发生故障和漏电时引起触 电。 请安装过载保护装置,以避免发生过载时烧损电机和发生火灾。 iv III-6 运转 真空泵运转时,应确保排气口未受阻,或不存在妨碍排气口处气体流 警告 通的装置。否则,真空泵内压上升,会引起泵体外壳和油位管破裂、漏 油、电机过载。 本产品非耐压结构。泵能承受的最大压力值为0.03MPa (表压)。 警告 请不要在有爆炸危险性的环境下使用,以避免受伤和引起火灾。 检查、修理时,请务必先切断电源再进行操作。以避免触电或者真空 泵突然启动而造成的人员伤亡。 绝对禁止非专业修理人员拆卸、修理或改造真空泵。否则可能会引起 警告 火灾或因操作失误而受伤、触电。 在真空泵运转过程中或者刚刚停止运转、泵体温度还很高时,请不要 触摸电机、真空泵、接管,以免烫伤。 当出现电机不转等异常情况时,为防止发生事故,请立即切断电源, 并委托我们公司(/)或爱发科商贸(上海) 有限公司()司进行检查和维修。 运转中必须有冷却水,冷却水量必须按下列数据提供。 ²冷却水量NB100B : 空冷 NB300B :2.0 L/min 以上、 NB600B :2.0 L/min 以上 注意 NB1200B :3.0 L/min 以上、 NB2400B :3.0 L/min 以上 ²冷却水温度 :5~30℃ 对本产品的冷却水,推荐使用杂质少的水(例:工业用水 参见下表)。 本产品的冷却水系统,受水质的影响,碳酸钙等的水锈会积存到冷却 水系统内部,使冷却水的流量减少。而且,氯离子会腐蚀内壁,引起漏 水。另外,若使用纯水,会产生金属析出而发生冷却水泄漏的问题。 这种情况将作有偿修理,请谅解。 注意 【参考】日本工业用水的水质标准 浊度 pH 碱度 硬度 蒸发残留物 氯离子 铁 锰 CaCO3 Mg.CaCO3 Cl- Fe Mn mg/L - mg/L Mg/L Mg/l Mg/L Mg/L Mg/L <2.0 6.5~8.0 <75 <120 <250 <80 <0.3 <0.2 制定:日本工业用水协会 v 请不要把手指或物品放入电机的开口部位,否则,可能会引起触电、 人员伤亡或火灾。 真空泵运转过程中,禁止用手触摸电机、主轴、联轴器等旋转部位, 注意 以避免受伤。 禁止在距电机和泵1m 范围内放置可燃物品,以免引起火灾。 请不要在距电机通风口(尾部)0.3m 内,放置有碍通风的障碍物,以 避免异常升温而造成烫伤和火灾等。 III-7 电源接线(拆除作业) 警告 安装及拆卸作业前,请先切断电源。 III-8 冷却水接管(拆除作业) 泵运转停止后,立即停止冷却水供应的话,可能会导致残留在泵内部 的冷却水沸腾喷溅出来。请持续供应冷却水,直至泵的温度下降。 警告 泵运转中或运转刚停止时,温度很高。一旦接触到人体会有烫伤的危 险。请持续供应冷却水,直至泵的温度下降。 拆除冷却水管时,请观察流量计(例如流量计等),确认装置等的冷却 水供水已停止。 III-9 吸气口接管(拆除作业) 请根据装置的使用说明拆卸。 警告 吸、排气管在泵停止后,一段时间内温度仍会很高。请在泵温下降后 再进行拆卸。 请用盖板将吸、排气口封闭。 请用盖板将吸、排气口封闭。 III-10 搬迁 泵的质量: NB100B :26 kg NB300B :49kg 警告 NB600B :82.5kg NB1200B:111kg NB2400B:255kg 有可能会引起腰的损伤。 搬运请用装卸机(例:移动式吊机),将产品吊到托盘固定后,再进行 运送。 vi IV 本泵警告标志的种类与位置 本系列真空泵贴有警告标志,在运转前请确认。 本警告标志张贴周围有触电的可能。在接线、维修、保养时,请 先切断电源,再进行操作。 运转时请将接线盒的盖子盖住。 运转时,整个泵壳温度很高。运转中或运转刚停止时,泵外壳的温 度仍很高,请不要触摸。 警告标志的位置: vii V 真空泵的接收和保管 V-1 真空泵的接收 ①.本产品为木箱包装(其中NB100B 为纸箱包装),拆箱请由专业人员 来进行。 客户在拆箱时,固定用的木条和钉子会弄伤手,请配带皮手套,使用 合适的起钉器等拆卸工具。 警告 ②.从木箱中取出产品,或抬起真空泵时,可利用泵上部的吊环,用吊 机将泵抬起进行搬运。在使用吊环前,请先确认吊环无异常。 ③.用吊机进行装卸作业时,作业者应具有操作资格。 ④.强行操作或器械准备不充分的话,有可能造成泵掉下、翻倒。请绝 对不要站到泵的下面。 ⑤.木条碎片及箱钉有可能会伤着身体,请告知作业者,务必配带皮手 套,使用合适的劳动工具。 在您拿到本产品时,请确认其是否与您订购的产品一致,以及其在运输过程中是否损坏。 若使用后再告知的话,有可能会成为有偿服务。 我们在发货前虽然作了仔细的检查,但为保险起见,您在开箱时请确认以下几点: ①.是否与您所订购的产品一致。 ②.附件(包括可加一次的泵油、选购零件、使用说明书)是否配齐。 ③.在运输过程中是否有破损的地方; 重 要 ④.运输过程中螺栓(钉)或螺母是否松动或脱落。 如果有问题,请与我们公司(/)或爱发科 商贸(上海)有限公司()联系。 V-2 搬运 泵的质量: NB100B :26 kg NB300B :51 kg 警告 NB600B :82.5kg NB1200B:111 kg NB2400B:255 kg 有可能会引起腰的损伤。 搬运请用装卸机(例:移动式吊机),或将产品吊到托盘固定后,再进 行搬运。 viii V-3 保管、安装及运转时的环境条件 本产品是装配精密的机械产品,安装和保管的环境条件要求满足以下几点: ⑴ 保管时的环境温度和湿度: -10℃~50℃、95%RH 以下(不可结露、结冰) ⑵ 运转时的环境温度和湿度: 5℃~40℃、 80%RH 以下(不可结露) ⑶ 高度(保管和运转时): 海拔 1000m 以下 ⑷ 外部振动(保管和运转时): 振动加速度 114dB (0.5G)以下 ⑸ 其他(保管和运转时): a. 无腐蚀性和易爆性气体的环境 b. 无冻结、不结露 c. 无灰尘 d. 必须放置在室内 e. 泵不能叠放或侧倒,也不可将电机端或油位管端朝下竖 立起来放置 f. 避免日光直射 g. 远离热源体 请不要让泵体受冲击,也不要把它倒下放置。否则会影响泵的正常运 注意 行。 安装时,请将泵水平放置,要求泵与安装面不留间隙,并用螺栓固定。为了避免震动传到 安装面,请使用防震橡胶等减震器。 VI 保护装置 本系列真空泵的配用电机为:三相、400V 级 6 种规格。电机本身不带保护装置,建议您在 接电源线时,安装保护装置(过载、漏电断路器等)。 过载保护装置的选定,请参照《3.5 电气接线》。 在设置过载保护装置的同时,建议设置其他的保护装置(漏电断路器等)。 必须安装过载保护装置。 注意 若不装过载保护装置,就有烧坏电机、引起火灾的可能。 *阅读后,请放在可随时翻阅处。 ix 目 录 ◆ 前言 Ⅰ真空泵使用须知 …………………………………………………………………… ⅰ Ⅱ安全标志 …………………………………………………………………………… ⅱ Ⅲ 安全方面的注意事项 ……………………………………………………………… ⅲ Ⅲ-1 安装²保管 ………………………………………………………………………iv Ⅲ-2 地震对策 …………………………………………………………………………iv Ⅲ-3 吸气口接管(安装)…………………………………………………………… iv Ⅲ-4 冷却水接管(安装)…………………………………………………………… iv Ⅲ-5 电源接线(安装)……………………………………………………………… iv Ⅲ-6 运转 ……………………………………………………………………………… v Ⅲ-7 电源接线(拆除作业)………………………………………………………… vi Ⅲ-8 冷却水接管(拆除作业)……………………………………………………… vi Ⅲ-9 吸气口接管(拆除作业)……………………………………………………… vi Ⅲ-10 搬迁 …………………………………………………………………………… vi IV 本泵警告标志的种类与位置 ………………………………………………………vii V 真空泵的接收和保管 …………………………………………………………… viii V-1 真空泵的接收 ………………………………………………………………… viii V-2 搬运 …………………………………………………………………………… viii V-3 保管、安装及运转时的环境条件 ……………………………………………… ix VI 保护装置 …………………………………………………………………………… ix 1 安全使用 ……………………………………………………………………………… 1 1.1 本产品具有的危险性与安全对策 ………………………………………………… 1 1.1.1 危险气体、危险物的泄漏 …………………………………………………… 1 1.1.2 搬送重物 ……………………………………………………………………… 1 1.1.3 触电 …………………………………………………………………………… 1 1.1.4 爆炸 …………………………………………………………………………… 2 1.1.5 高温 …………………………………………………………………………… 2 x 1 1.1.6 高温冷却水的泄漏 …………………………………………………………… 2 1.2 化学物质安全数据表(MSDS)…………………………………………………… 2 2 概要 ………………………………………………………………………………… 3 2.1 性能指标 ………………………………………………………………………… 4 2.2 外形图 ……………………………………………………………………………… 5 2.3 泵的性能 ……………………………………………………………………………10 2.3.1 极限压力 ……………………………………………………………………… 10 2.3.2 抽气速率 ……………………………………………………………………… 10 2.3.3 所需动力 ……………………………………………………………………… 11 3 安装 …………………………………………………………………………………… 11 3.1 安装、保管条件 ………………………………………………………………… 11 3.2 安装 ……………………………………………………………………………… 12 3.3 吸气接管、排气接管 …………………………………………………………… 12 3.3.1 吸气接管 ……………………………………………………………………… 12 3.3.2 排气接管 ……………………………………………………………………… 12 3.4 冷却水接管 ……………………………………………………………………… 13 3.5 电气接线 ………………………………………………………………………… 15 3.6 加油 ……………………………………………………………………………… 16 3.6.1 齿轮室(润滑室)的加油 …………………………………………………… 16 3.6.2 机械密封加油 ………………………………………………………………… 17 4 运转 …………………………………………………………………………………… 18 4.1 试运转 …………………………………………………………………………… 18 4.2 运转 ……………………………………………………………………………… 20 4.2.1 开始抽气操作 ………………………………………………………………… 20 4.2.2 停止抽气操作………………………………………………………………… 20 5 卸泵、运送 …………………………………………………………………………… 21 5.1 操作顺序 ………………………………………………………………………… 21 6 保养、检查 …………………………………………………………………………… 21 6.1 保养 ……………………………………………………………………………… 21 2 xi 6.2 检查内容 ………………………………………………………………………… 22 6.2.1 润滑油 ………………………………………………………………………… 22 6.2.2 机械密封放油螺塞 …………………………………………………………… 23 6.2.3 泵室内部 ……………………………………………………………………… 23 6.2.4 检查漏油 ……………………………………………………………………… 24 6.2.5 检查吸气口的金属网 ………………………………………………………… 21 6.2.6 异常音、异常震动的检查 …………………………………………………… 21 6.2.7 检查联轴器橡胶块 …………………………………………………………… 24 6.3 定期保管后的检查 ……………………………………………………………… 24 6.4 检修 ……………………………………………………………………………… 25 6.5 故障检查表 ……………………………………………………………………… 25 7 废弃 …………………………………………………………………………………… 27 8 保修条款 ……………………………………………………………………………… 27 8.1 质保对象 ………………………………………………………………………… 28 8.2 质保期 …………………………………………………………………………… 28 8.3 质保范围 ………………………………………………………………………… 28 8.4 对应方法 ………………………………………………………………………… 28 8.5 免责事项 ………………………………………………………………………… 28 8.6 其他 ……………………………………………………………………………… 28 9 主要更换零件 ………………………………………………………………………… 29 附1 技术备注 ……………………………………………………………………………30 附2 润滑室另外排气规格 ………………………………………………………………31 附3 选购件 ………………………………………………………………………………33 附4 使用状况调查表(用于需要分解修理时)……………………………………… 34 xii 3 图表一览 图1 罗茨泵的排气原理图 ……………………………………………………………… 3 图2 NB100B 型罗茨泵外形安装图 ……………………………………………………… 5 图3 NB300B 型罗茨泵外形安装图 ……………………………………………………… 6 图4 NB600B 型罗茨泵外形安装图 ……………………………………………………… 7 图5 NB1200B 型罗茨泵外形安装图 ………………………………………………………8 图6 NB2400B 型罗茨泵外形安装图 ………………………………………………………9 图7 抽气速率曲线 ……………………………………………………………………… 10 图8 抽气速率曲线B)………………………………………………………… 11 图9 电气接线 …………………………………………………………………………… 15 图10 油位视窗 …………………………………………………………………………… 17 图11 齿轮旋转方向 ……………………………………………………………………… 19 图12 使用罗茨泵时的排气实例 ………………………………………………………… 30 图13 润滑室另外排气规格示意图 ……………………………………………………… 31 图14 润滑室另外排气的原理图 ………………………………………………………… 33 表1 性能指标 ………………………………………………………………………………4 表2 NB 系列标准电机的额定电流值 …………………………………………………… 16 表3 检修清单 …………………………………………………………………………… 22 表4 故障检查表 ………………………………………………………………………… 25 表5 主要更换部件一览表 ……………………………………………………………… 29 表6 选购件 ……………………………………………………………………………… 33 4 xiii 1 安全使用 1.1 本产品具有的危险性与安全对策 请认真阅读并完全了解潜在危险和危险回避方法后,再操作或检修本线 危险 危险气体、危险物的泄漏 原 因 回避方法²对策 请不要抽排有毒和可燃性等危险气体。 有毒和可燃性气体的泄漏 ①请穿戴适合该有毒物质的护具进行点检等作业。 在检查、废弃时,接触有毒泵油、泵、 ② 检修、废弃时,请委托专业机构对废弃物进行 无害化处理。 生成物和吸入物会受到伤害 ③ 请委托具有行政资格认定的专业机构进行废弃 处理。 1.1.2 警告 搬送重物 原 因 回避方法²对策 搬运泵时负伤 ① 装卸及操作吊装设备时,必须委托具有操作资格 泵质量 的人员进行。 NB100B :26 kg NB300B :51 kg、 NB600B :82.5kg ② 强行操作或器械准备不充分的线 kg 掉下、翻倒。请绝对不要站到泵的下面。 1.1.3 警告 触电 原 因 回避方法²对策 ① 电气接线前,必须断开电源。地线必须接地。 ② 泵运转前,必须将电机的接线盒封闭;泵运转 中,不能将该接线盒打开。 接触电机通电部位而触电 ③ 检查、移位时,必须将电源断开。 ④ 不要将手、细棒插入电机的开孔中。 请拧紧接线。并请每个月检查一次接线端子,确认 电机接线 电气接线 警告 爆炸 原 因 回避方法²对策 2 本泵的耐压值为0.03MPa (0.3kg/cm )(表压)。 2 当泵的排气端的压力超过0.03MPa (0.3kg/cm )(表 泵内部压力上升会使泵破裂 压)时,请及时清除妨碍排气侧气体流通的东西。 1.1.5 警告 高温 原 因 回避方法²对策 ① 运转时泵温很高 ② 表面温度较高,手无意中触碰到时,会有烫伤 的危险。运转中请不要触摸泵。检查时,请待泵停 高温部位会烫伤 止,且泵温完全下降后再进行。 1.1.6 注意 高温冷却水的泄漏 原 因 回避方法²对策 ① 冷却水管路中,应设置流量计。并设计联锁装 置,当冷却水不足时,泵即停止运转。 ②泵运转时没有通入冷却水,应停止泵运转并不要 不通冷却水的情况下运转,沸腾的高温 接近泵。 蒸汽会从泵的冷却水出入口喷出。 ③ 泵停止后,确认泵温下降后再进行拆卸、检查。 沸腾的高温蒸气。 1.2 化学物质安全数据表(MSDS) 本泵使用的化学物质 ULVOIL R-4 (矿物油) 化学物质安全数据表是在使用本泵后,对可能使用或接触的化学物质作 重 要 一介绍。若需要的话,可与我们公司营业部联系。 请仔细阅读,以便更好地理解MSDS 所记载的有毒性。 请不要使用本说明书记述的化学物质(真空泵油)以外的化学物质。 MSDS 提供的参考信息,能确保危险有害化学物质被安全使用。使用泵 注意 油的人员,可利用该参考信息,在责任范围内,根据使用实况等,采取 切合实际的措施,以活用他的参考价值。因此,本MSDS 并非安全保证书。 2 2 概要 3 罗茨泵与粗抽泵组合使用时,可以使粗抽泵的抽气速率在压力低于 1.3×10 ~1.3× -1 1 -3 10 Pa(1.0×10 ~1.0×10 Torr)范围时,增加其抽气速率。 其结构由二个 8 字形转子的截面与转子外壳构成。在同步齿轮的作用下,这二个转子之 间互不接触,并彼此同步作相反方向的旋转。而且,转子与转子外壳始终处于微小的、相等 间隙条件下工作。 1 2 3 4 气体的流向 转子的回转方向 图 1 罗茨泵的排气原理图 这个形式的泵,转子间及转子与转子外壳间,彼此互不接触。不用担心会产生摩擦损耗。 因此,转子室内不需要润滑油。所以对于水蒸汽、溶剂蒸气的工作环境,具有比较稳定的排 气性能。 3 2.1 性能指标 表1 性能指标 型 号 NB100B NB300B NB600B NB1200B NB2400B *2 50Hz 2000 抽气速率 95(1580) 280(4670) 500(8330) 1000(16667) 2000(33330) 3 m /h(L/min) 60Hz 115(1920) 330(5500) 600(10000) 1200(20000) 2400(40000) *2 50Hz 3 3 2 最大吸入压力 1.2³10 1.3×10 8.0×10 3 1.3³10 (连续运转时) Pa 2 3 2 60Hz 9.3 ³10 1.1³10 6.7×10 *2 50Hz 3 3 3 3 最大允许压力差 Pa 8.0 ³10 4.0 ³10 7.3×10 5.6×10 (排出压力-吸入压力) 3 3 3 3 60Hz 6.7 ³10 3.3 ³10 6.0 ³10 4.7×10 极限压力 Pa *1 -1 -1 -1 4.0 ³10 6.7 ³10 6.5×10 VDN401 VSN1501 VSN1501 标准粗抽泵 VDN301 VSN2401 VDN602 VDN902 VSN2401 电机(2 极) kW 0.4 0.75 2.2 3.7 7.5 润滑油规格 ULVOIL R-4 所需油量 L 0.35 0.70 1.50 1.90 4.0 冷 流量 L/min 2.0*3 2.0 3.0 3.0 却 进出水压差 MPa 空冷 0.1 水 *4 水温 ℃ 5~30 重 量 kg 26 51 82.5 111 255 吸气口径 (JIS B 2290) 相当 VG50 相当 VG80 相当 VG80 相当 VG100 相当 VG200 排气口径 (JIS B 2290) 相当 VF50 相当 VF80 相当 VF80 相当 VF80 相当 VF200 *1 -2 用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏线 随粗抽泵的性能而变化,表中数据是与标准粗抽泵组合使用时的数据。 *3 对于 530Pa 以下可用空冷,但530Pa 以上进行连续运转必须用水冷。 *4 冷却水入口温度必须为 5~30℃。如冷却水温过低,则泵应在不易结露的环境中使用。 4 2.2 外形图 图2 NB100B 型罗茨泵外形安装图 5 图 3 NB300B 型罗茨泵外形安装图 6 图4 NB600B 型罗茨泵外形安装图 7 图 5 NB1200B 型罗茨泵外形安装图 8 图3 NB300A 型罗茨泵外形安装图 图6 NB2400B 型罗茨泵外形安装图 9 2.3 泵的性能 2.3.1 极限压力 罗茨泵的极限压力是受粗抽泵极限压力影响的。 采用标准组合以外的粗抽泵时要特别引起注意。若极限压力不好,有必要对粗抽泵本身 的极限压力进行确认。 此外,泵若抽的气体含大量水分,或在吸排气口敞开的状态下,长期放置在大气中,使 得泵内部吸附了水分,导致运转刚开始时,极限压力无法达到样本值。一般情况下,进行一 昼夜的无负荷运转后,随着附吸物的蒸发,一切可恢复正常。 2.3.2 抽气速率 罗茨泵的抽气速率是随吸入压力、吸排气口压力差(排出压-吸入压)和转速而变化的。 即使吸入压力相同,只要加大粗抽泵的抽气速率,或换成抽气速率较大的粗抽泵,那么,吸 排气口的压力差就会减小。结果,罗茨泵达到最大速度时的压力到大气压为止的抽气速率变 大。反之,粗抽泵的抽气速率越小,罗茨泵的抽气速率也小。 图 7 抽气速率曲线 所需动力 罗茨泵所需的动力是随粗抽泵的性能和吸气口压力的不同而变化的。罗茨泵吸入压力超 过最大吸入压力(参见表 1)时,会造成电机过载,泵发热增加,最终导致电机烧毁,泵毁坏。 请考虑罗茨泵的吸气口压力与粗抽泵的吸气口压力间的压差。请使用小于最大压差容许 值的粗抽泵(参见表 1)(抽气速率和极限压力的性能高于标准粗抽泵的泵)。 综上所述、在选用粗抽泵时应注意,罗茨泵的性能较大程度依赖于粗抽泵的性能。 3 安装 使用本产品时,请按本国、本地的安全相关规定或法令(如消防法、 电线接线规定等)进行安装和使用。另外,应参加本国、本地的政府或 机构开设的安全基础教育培训。未参加安全教育培训的人员,绝对不可 警告 以使用本产品。另外,操作人员必须接受操作培训,且必须具备电气、 机械、装卸、真空等相关专业知识、技能和资格。 安装及拆卸作业前,请断开与产品相连的全部能源(电源、冷却水等)。 3.1 安装²保管条件 安装场所应选择少尘、干燥的场所,并请水平放置。而且,应考虑能开展安装、拆卸、 检查、清扫作业。 11 详细请参见【V 真空泵的接受和保管】。 泵倾斜、横倒或逆向运转的线 的右边视图所示, 注意 将吸气口朝上,水平放置。 移动时,倾角应小于10°。 3.2 安装 将泵装到台架上,底座用 4 个螺栓固定。 台架的形状,会导致泵产生震动和共振,或加剧震动。此时,不要直 注意 接用螺栓固定,请装入防震垫后再固定。 3.3 吸气接管、排气接管 ⑴.真空室、管道、真空阀等的内腔需经彻底清洗后才

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