只有按照本说明书正确使用莱宝RUVACWA/WAU真空泵，才能保证真空泵安全

　　说明书中的图例表示，如（4.1/2），顺次4.1为图4.1,2为图中第2项。

　　1避免身体的任何部分暴露在线即使当RUVAC泵停泵时，抓向泵内是危险的。由于转子惯性大，很容易把

　　3RUVAC泵吊环不能用于提升任何泵组（罗茨泵+前级泵），除非仅当得到莱

　　警告1潜在的致命电压出现在主电源连接。在开始对RUVAC泵进行维修及维护工

　　2电气连接必须仅由专业人员按照规定完成，例遵照EN50110-1。请注意该

　　2泵仅能在12~40°C环境温度下工作。需确保泵产生的热辐射可以有效的散

　　8当所有安装工作完成后，我们建议对所有安装在绝对压强1100mbar下进行

　　1RUVAC泵所产生的噪音级在64及80dB(A)之间。当泵短暂运行于高于100

　　11为确保供油充足，RUVAC泵（包括其附件）的工作位置，从垂直方向应该

　　罗茨泵-也称罗茨增压泵-泵体内的两个对称转子向相反方向旋转（见图1.1）。

　　转子截面很像数字“8”，并且由啮合齿轮带动做同步运动。转动时，彼此之间和

　　在位置IV，这个封闭容积与排气侧相通，处于前级压强（高于入口压强）下的气

　　由于在泵腔内为非接触旋转，罗茨泵可高速旋转（电源频率为50Hz时，标准转速

　　RUVACWA/WAU泵专门设计用于粗低真空范围内。它们因此既可用于与前级泵

　　RUVACWA/WAU泵的电机直接由法兰连到支架上。泵的一根轴由弹性联轴器连

　　RUVACWA/WAU泵是风冷的。装在电机上的风扇产生冷却电机和泵的气流。

　　RUVACWAU泵有一个压力平衡通道。它通过压力平衡阀将排气与进气法兰连接

　　对于工作在50/60Hz和由于有了压力平衡通道，就不需要附加控制装置便可保护

　　泵不会压差过大（见4.1节）。RUVAC泵可以在大气下与前级泵同时启动。这样

　　一些型号带有ACE减震器，可防止在压力爆发的情况下阀接触阀盖。这将减少阀

　　WA/WAU泵注入PFPE油运行，是不能满足全球范围内半导体工艺要求的，

　　不带电机的WA、WAU泵可以连接符合IEC标准电机运行。其电机法兰使用铁板密

　　轴承箱内注油量1.注油/2.注油1.注油/2.注油1.注油/2.注油1.注油/2.注油

　　2)带双级旋片真空泵TRIVAC或单级旋片真空泵SOGEVAC（前级泵型号看最大抽速）。当使用双级前级泵时，极限压强相对低。

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