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RUVAC-WA-WAU--2001-罗茨真空泵-安装使用说明书pdf
时间:2024-08-11 21:55:00 点击次数:

  只有按照本说明书正确使用莱宝RUVACWA/WAU真空泵,才能保证真空泵安全

  说明书中的图例表示,如(4.1/2),顺次4.1为图4.1,2为图中第2项。

  1避免身体的任何部分暴露在线即使当RUVAC泵停泵时,抓向泵内是危险的。由于转子惯性大,很容易把

  3RUVAC泵吊环不能用于提升任何泵组(罗茨泵+前级泵),除非仅当得到莱

  警告1潜在的致命电压出现在主电源连接。在开始对RUVAC泵进行维修及维护工

  2电气连接必须仅由专业人员按照规定完成,例遵照EN50110-1。请注意该

  2泵仅能在12~40°C环境温度下工作。需确保泵产生的热辐射可以有效的散

  8当所有安装工作完成后,我们建议对所有安装在绝对压强1100mbar下进行

  1RUVAC泵所产生的噪音级在64及80dB(A)之间。当泵短暂运行于高于100

  11为确保供油充足,RUVAC泵(包括其附件)的工作位置,从垂直方向应该

  罗茨泵-也称罗茨增压泵-泵体内的两个对称转子向相反方向旋转(见图1.1)。

  转子截面很像数字“8”,并且由啮合齿轮带动做同步运动。转动时,彼此之间和

  在位置IV,这个封闭容积与排气侧相通,处于前级压强(高于入口压强)下的气

  由于在泵腔内为非接触旋转,罗茨泵可高速旋转(电源频率为50Hz时,标准转速

  RUVACWA/WAU泵专门设计用于粗低真空范围内。它们因此既可用于与前级泵

  RUVACWA/WAU泵的电机直接由法兰连到支架上。泵的一根轴由弹性联轴器连

  RUVACWA/WAU泵是风冷的。装在电机上的风扇产生冷却电机和泵的气流。

  RUVACWAU泵有一个压力平衡通道。它通过压力平衡阀将排气与进气法兰连接

  对于工作在50/60Hz和由于有了压力平衡通道,就不需要附加控制装置便可保护

  泵不会压差过大(见4.1节)。RUVAC泵可以在大气下与前级泵同时启动。这样

  一些型号带有ACE减震器,可防止在压力爆发的情况下阀接触阀盖。这将减少阀

  WA/WAU泵注入PFPE油运行,是不能满足全球范围内半导体工艺要求的,

  不带电机的WA、WAU泵可以连接符合IEC标准电机运行。其电机法兰使用铁板密

  轴承箱内注油量1.注油/2.注油1.注油/2.注油1.注油/2.注油1.注油/2.注油

  2)带双级旋片真空泵TRIVAC或单级旋片真空泵SOGEVAC(前级泵型号看最大抽速)。当使用双级前级泵时,极限压强相对低。

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