4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦，而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速,两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

　　7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

　　8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

　　罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v０空间是全封闭状态,所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v０空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间ｖ０中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

　　罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说,罗茨泵具有以下特点:

　　如图为罗茨泵转子由0°转到１80°的抽气过程。在0°位置时（图中ａ)，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中ｂ），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到９０°位置时（图中c)，下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到１3５°时(图中d）,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v０体积的气体。

　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:2ＢV系列水环线mmHg(绝压),在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为７60~6０ｍmＨg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

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　　罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

　　5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

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　　1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某线ｍmＨg的工作真空度,选用的真空泵的极限线mmHｇ。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。