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资料]罗茨真空泵机组的选配与应用注意事项
时间:2024-06-29 08:20:31 点击次数:

  由于罗茨真空泵的压缩比较小,为了使罗茨真空泵机组能达到更高的真空度和更大的抽气速率,可采用多台罗茨真空泵与前级真空泵串联来组成多级罗茨真空泵机组来满足高真空的要求。真空机组的级数是由工作真空度来决定的,一般真空机组的极限真空必须比工作真空高半到一个数量级。根据各个真空系统工作压力有所不同,在选配机组时必须掌握以下几点:

  们列举了一台水环真空泵和一台至三台罗茨真空泵串联组成的多级罗茨水环真空机组所能达到的真空范围。

  表一、多级罗茨水环真空泵机组的组成和线pa ,,3(1.5×10~6×10极限压力

  选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵机组的长期工作压力范围来考虑。另外应当考虑的是,对预抽时间长短的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,而且要求很快达到预抽真空度,就要用较大的前级泵。还有必须要注意的是罗茨泵的实际运行时的压差不得超过其最大允许压差,一般建议控制在75,以下,否则罗茨泵会出现过热、过载或咬死等情况。

  罗茨水环真空机组,由于水环真空泵的抽速和真空度是与其所采用的循环水的温度密切相关的,水温越高水环泵的真空度就越差、龙8long8中国抽速也越小。许多用户会发现罗茨水环机组中与水环泵相连的罗茨泵一般温度较高,特别是夏天的泵温会更高,其实就是因为水环泵循环水(液)的温度变化所造成的。

  水环泵的样本参数是指泵采用15?水作为工作液时的参考值,工作液的温度变化将会影响水环泵的抽气性能。表1提供的参数,可以结合以下公式来换算出进水温度不在15?时水环泵抽除干燥空气的抽气能力。

  一般一台罗茨真空泵与一台水环真空泵串联而成的JZJS型二级机组的极限压力仅为250~650pa左右,如采用二台罗茨真空泵串联一台水环真空泵则机组的极限压力可达到15~25pa,如再增加一台罗茨真空泵则机组的极限压力可更高,将达到0.2~0.8pa以上,因而用户可根据不同的使用要求来正确选择机组的级数。

  通常罗茨泵的真空度要比前级泵的真空度要提高一个数量级,比如水环泵用20?的循环水时的线mbar,那么罗茨泵,水环泵机组的线mbar左右,罗茨泵的最大压差为30mbar左右。由于罗茨真空泵的压差是受限制的,大泵所允许的压差反而小(参考罗茨泵性能参数表),所以与水环泵相连的普通罗茨真空泵一般最大用到ZJ-600以下,否则要采用气冷罗茨真空泵。除非前级水环泵采用低温冷冻水或前级泵采用更低饱和蒸汽压的工作液。

  一般抽除干燥、无腐蚀性的气体的工艺上,建议选用滑阀真空泵或罗茨滑阀真空泵机组。

  如果被抽气体含有微量粉尘或含有大量可凝性蒸汽的工艺上,建议选择水(液)环泵或罗茨水(液)环泵机组。至于要选择几级机组可参考上图和以下说明。

  S—采用15?水作为工作液在P1压力时的抽速,参考水环泵性能曲线—入口压力,托


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