如果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏氦气有分流）。或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦 浓度（即浓度灵敏度）。记为Ymin，能较方便地估计检漏效果。

　　条件 ”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏 ”是指检

　　漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓最小可检”是指检漏讯号

　　为仪器本底噪声的两倍时， 才能认定有漏气讯号输出。 所谓 “漏孔漏率 ”是指一个大气压的干燥空 气通过漏孔漏向 真空 侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最动量。

　　氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分

　　现以HZJ-I型仪器为例•介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。

　　在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙

　　组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。质谱 室的工作原理如图3所示。

　　在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一

　　定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆

　　可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固 定的，调节加速电压U使氦离子束［图中(me-1)2］恰好通过岀口缝隙9，到达收集器D，形成离子 流并由放大器放大。使其由输岀表和音响指示反映岀来；而不同于氦质荷比的离子束［(me-1)1(me-1)3］因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过岀口缝隙S2,所以被分离岀来。(me-1)2=4,即He的质荷比，除He之外，C卅很少，可忽略。

　　氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检Βιβλιοθήκη Baidu的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。

　　氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为I0-9〜10-12Pam3/s,广泛

　　地用于各种 真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底

　　逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体 种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩

　　比为I04〜106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室 中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。

　　图4示岀了双级90°缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析，减少了非氦

　　离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙 设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子， 虽然可以通过第一个分析器， 但是， 经第二次加速进入第二个分析器后， 由于其动量与氦离子的 不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

　　浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率， 则仪器浓度 灵敏度成为式（7）。

　　噪声显著减小•其灵敏度可达10-14〜10-15Pam3/s,适用于超高 真空系统、零部件及元器件的检

　　漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因

　　此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真

　　灵敏度、反应时间、清除时间、工作 真空 度、极限 真空 度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏 仪的主要性能指标。

　　氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为，即在仪器处于最佳工作条件下，以 一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作龙8long8