本实用新型属于真空获得设备技术领域，具体涉及一种罗茨真空泵机组，底盘上通过管路顺次连接有主抽罗茨泵、次级罗茨泵、第三级罗茨泵和水环真空泵，水环真空泵排气口连接气水分离器，气水分离器通ห้องสมุดไป่ตู้工作液回水管连接冷水机的进水口，形成热介质回水管路，冷水机的出水口连接主抽罗茨泵、次级罗茨泵、第三级罗茨泵的冷却室注水口和水环真空泵注水口，形成冷介质注水管路，主抽罗茨泵、次级罗茨泵、第三级罗茨泵的冷却室回水口通过罗茨泵回水管连接气水分离器；底盘上还设有电控柜。本实用新型以三台不同型号的罗茨真空泵串联，共用一台水环真空泵为前级泵，能够分别应对不同真空环境的工艺系统，实现了真空机组的集成化、智能化控制。