2、在化学工业、医学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式线、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

　　4、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

　　5、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

　　近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作。

　　当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，左腔空间的压强不断的降低，当左腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽容器内的气体经过吸气阀不断地被抽进左腔，此时正处于吸气过程。

　　当活塞达到右边位置时，气缸左腔内就充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀自动关闭。气体随着活塞从右往左运动而逐渐被压缩。当气缸内的气体达到排龙8long8国际气压力时，此时排气阀被打开，气体被排出，完成了一个工作循环。

　　当活塞在从左端向右端运动时，重复上述循环，直到被抽容器达到某一平衡压力为止。

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